这种技术提供最经济的解决方案之一。直流发电机用于单阴极和双阴极溅射。也为偏置底物。
产品系列及介绍：
TruPlasma 直流系列 3000
TruPlasma 直流 3030 TruPlasma 直流系列 3000 为要求苛刻的等离子体过程提供支持。
TruPlasma 直流系列 3000 (G2)
TruPlasma 直流 3040 新 TruPlasma 直流系列 3000 (G2)-甚至在过程中的优秀层质量高弧率。
TruPlasma 直流系列 4000
TruPlasma 直流 4016 TruPlasma 直流系列 4000 使脉冲的等离子体过程在最高的阶段。
TruPlasma 直流系列 4000 (G2)
TruPlasma 直流系列 4000 (G2) TruPlasma 直流系列 4000 (G2) 被专为困难材料反应溅射过程。
WOERNER 干油分配器 VPA-C6/P
WOERNER 润滑分配器 VPA-C1610101013*90/P
HONEYWELL 真空传感器 VP-48C-22R-6WLAQ2-250014-656
SMC 电磁阀 VP342-4T1-02A AC220V 0.2~0.7MPa
NORGREN 比例阀 VP2310be761mb200
NORGREN 比例阀 VP1006BJ101A00
HAWE 换向阀 VP 1 R-G 408 VP1R AIN 1705643 KTS GM5000 0828
OLEOSTAR 止回阀 VOSL SC 38 TR PG
WOERNER 分配器 VOE-B/8/2/5/5/5/5/5/5/5/5/P
WOERNER 分配器 VOE-B/6/2/5/5/5/5/5/5/P
OLEOSTAR 平衡阀 VODL SC/F 12/TR.S.P7
END 电动阀 VO561009-NE154100 803214121809